-
-
محطة مسبار لدرجات حرارة عالية ومنخفضة غير فراغية CT
View Details
-
محطة مسبار الفراغ ذات درجتي الحرارة العالية والمنخفضة من سلسلة CGO
View Details
-
محطة مسبار درجة الحرارة العالية والمنخفضة ذات الدائرة المغلقة من سلسلة CRX
View Details
-
M001 محطة مجسات درجة حرارة عالية ومنخفضة بالتفريغ
View Details
-
M002 محطة مسبار للحرارة العالية والمنخفضة بالتفريغ
View Details
-
محطة مسبار فراغي موصل فائق درجة حرارة منخفضة CRX-SM
View Details
-
محطة مسبار تحليل التسرب الدقيق للضوء من EMMI Photon
View Details
-
-
-
-
-
الحل
الحل
إصلاح بالليزر
1. محطة مسبار الإصلاح بالليزر هي أداة اختبار دقيقة متكاملة مع وظيفة إصلاح بالليزر، تُستخدم بشكل رئيسي لإصلاح العيوب واختبار الأداء الكهربائي في صناعات مثل أشباه الموصلات وشاشات اللوحات.
المراقبة والتعليقات في الوقت الحقيقي: مزود بنظم مراقبة في الوقت الحقيقي، مثل كاميرات عالية السرعة أو مجاهر عبر الإنترنت، يراقب النظام عملية الإصلاح باستمرار أثناء الترميم بالليزر. ويقوم تلقائيًا بضبط طاقة الليزر وتردد النبضات والمعايير الأخرى استنادًا إلى معايير محددة مسبقًا، مما يضمن جودة إصلاح متسقة ومستقرة.
2. نقاط الألم الأساسية التي تم معالجتها وأبرز النقاط التقنية الرئيسية:
(1) دقة منخفضة في الإصلاح: عادةً ما تمتلك موجّهات الفوتونات أبعادًا عرضية في نطاق أقل من الميكرون، مما يجعل من الصعب على تقنيات الإصلاح التقليدية تحقيق إصلاحات عالية الدقة. ومع ذلك، تستفيد أنظمة مجسات الإصلاح القائمة على الليزر من مدة النبضة الفائقة القصر، والطاقة الذروية الفائقة العالية، ودقة التصنيع التي تصل إلى مستوى أقل من الميكرون، مما يتيح تركيزًا دقيقًا يصل إلى مقياس الميكرون أو حتى النانومتر—وبالتالي تحقق نتائج إصلاح بالغة الدقة.
(2) التداخل البيئي الكبير: أثناء اختبارات درجات الحرارة المنخفضة، تكوّن جزيئات الماء في الغلاف الجوي طبقة مائية موصلة على سطح الرقاقة. وفي الوقت نفسه، عند درجات حرارة مرتفعة، يمكن لجزيئات الأكسجين أن تُحفّز أكسدة المادة، مما يؤدي إلى انخفاض كبير في عائدات الاختبارات التقليدية يصل إلى 40%. تعمل محطة مجسات الإصلاح بالليزر على التخفيف من هذه التداخلات البيئية خلال عملية الإصلاح من خلال دمج ميزات مثل بيئة تفريغ مدمجة أو أنظمة حماية غازية متخصصة.
(3) ضعف تعددية استخدام لوحات المجسات: عادةً ما تستخدم لوحات المجسات التقليدية اللحام لتثبيت المجسات، مما يعني أن كل لوحة مجسات مصممة لنوع واحد محدد من دوائر الركائز ولا يمكن تعديلها بسهولة. بالإضافة إلى ذلك، يتطلب اللحام دقة وموثوقية عالية، مما يجعل العملية تستغرق وقتًا طويلاً وتتطلب جهدًا بشريًا كبيرًا. في المقابل، تتميز محطات المجسات القابلة للإصلاح بالليزر بنظام قابل للفصل لتركيب المجسات، مما يسمح بالتثبيت والتعديل بمرونة لتلائم أنواعًا مختلفة من الركائز. هذا النهج يعزز بشكل كبير تعددية استخدام لوحات المجسات ودقتها وكفاءتها التشغيلية.
(4) كفاءة منخفضة في الإصلاح: غالبًا ما تتطلب طرق الإصلاح التقليدية تنفيذ خطوات متعددة يدويًا — بدءًا من اكتشاف العيوب وإصلاحها وصولًا إلى الفحص مرة أخرى — مما يجعل العملية مرهقة وغير فعالة. في المقابل، تتميز محطة التحقيق بالتصليح بالليزر بوظائف آلية بالكامل تمتد عبر كامل سير العمل، بدءًا من اكتشاف العيوب والتصليح بالليزر وصولًا إلى الفحص بعد الإصلاح، مما يعزز بشكل كبير كفاءة الإصلاح.
تشمل الجوانب الفنية الرئيسية لمحطة مسبار الإصلاح بالليزر ما يلي:
(1) نظام ليزر عالي الدقة: عادةً ما يكون مزودًا بليزر ند:ياغ نبضي، يوفر مجموعة متنوعة من الأطوال الموجية مثل 1064 نانومتر و532 نانومتر و355 نانومتر، مما يتيح معالجة دقيقة مصممة خصيصًا لمختلف المواد. عرض نبضة الليزر قصير جدًا—حوالي 3–4 نانوثانية—ويمكن ضبط طاقة النبضة وفقًا للطول الموجي المختار، مما يسمح بالحصول على أصغر أحجام للتفاصيل تصل إلى 1 ميكرومتر.
(2) التحديد الدقيق للوضعية والتحكم في الحركة: باستخدام مرحلة حركة متعددة المحاور بمستوى النانومتر، يحقق هذا النظام دقة تحديد وضعية تقل عن الميكرون مع توفير سرعة استجابة بمستوى ميلي ثانية. ويمكنه تعديل مسار الليزر بشكل ديناميكي في الوقت الحقيقي استنادًا إلى التغذية الراجعة البصرية، مما يضمن استهدافًا دقيقًا لمنطقة الإصلاح.
(3) الأتمتة والتحكم الذكي: مزود بقدرات أتمتة شاملة للعملية بأكملها، يمكن لهذا النظام التعرف تلقائيًا على الأجهزة المعيبة على الرقائق، وإجراء إصلاحات انتقائية، وتقديم تقييم في الوقت الحقيقي لنتائج الإصلاح. حتى أن بعض الطرازات تتميز بخوارزميات تعلم متقدمة تعمل على تحسين عملية الإصلاح باستمرار، مما يعزز في النهاية العائد العام من الإصلاحات الناجحة.
(4) التكامل متعدد الوظائف: بالإضافة إلى إصلاح الليزر، يدمج هذا النظام أيضًا وظائف مثل اختبار الأداء الكهربائي. فهو يتيح إجراء فحوصات للأداء الكهربائي للجهاز قبل الإصلاح وبعده، مما يوفر تغذية راجعة فورية حول فعالية عملية الاستعادة. علاوةً على ذلك، يمكن تجهيز النظام بأدوات مراقبة مثل المجاهر، مما يسمح بمراقبة في الوقت الحقيقي لإجراءات الإصلاح والحالة الحالية للجهاز.
4. ملخص حل إصلاح الليزر لمحطة الفحص.
تُعدّ حلول إصلاح ليزر محطات الفحص تقنيةً أساسيةً لضمان العائد في مجالات التصنيع الدقيق مثل أشباه الموصلات ولوحات العرض والشرائح الضوئية. ومن خلال دمج العملية بأكملها - بدءًا من الكشف وتحديد الموقع وصولاً إلى الإصلاح والتحقق - فإنها تتيح استعادة دقيقة للعيوب على مستوى الميكرومتر.
- تحسين العائد والتكاليف: لقد زدنا عائد الإصلاح التقليدي من 60% إلى أكثر من 90%، بل إن بعض التطبيقات وصلت إلى 99.99%. وفي الوقت نفسه، لا تتجاوز تكلفة المعدات المنتجة محليًا 30% من تكلفة البدائل المستوردة، مما يقلل بشكل كبير الخسائر في التصنيع الدقيق.
- معالجة غير تدميرية تتميز بتنوع أكبر: باستخدام التصنيع بالليزر دون اتصال، يتم الحفاظ على منطقة التأثر الحراري ضمن حدود 1 ميكرومتر، مما يمنع تلامس المجسات من إلحاق الضرر بالرقائق ذات الأبعاد الميكروية. بالإضافة إلى ذلك، يدعم تكامل البرمجيات بروتوكولات متعددة لطرازات الليزر، مما يتيح التوافق مع ركائز ذات أحجام مختلفة ويتلاءم مع أنواع مختلفة من العيوب.
- قدرة متعددة المجالات ومتعددة الاستخدامات: تغطي تطبيقات مثل إصلاح البقع المضيئة والداكنة في لوحات LCD/OLED، وتصحيح موجات الألياف الضوئية في الرقائق الفوتونية، وسد الثقوب الدقيقة على الشبكات—داعمةً إصلاح الرقائق الدقيقة التي يبلغ حجمها حتى ≤50 ميكرومتر، وتتسع لعمليات إصلاح اللوحات بأحجام كاملة تتراوح من 15.6 إلى 120 بوصة.