-
-
-
-
-
-
اتصل بنا
محطة مجسات آلية بالكامل
تُقدّم شركة شنتشن سيندونغباو للتكنولوجيا المحدودة سلسلة محطات مجسات الرقائق الآلية بالكامل، المصممة لاستيعاب اختبارات رقائق بقطر يتراوح بين 4 و12 بوصة. تدعم هذه المعدات تكوينات متنوعة لبيئات الاختبار، بما في ذلك درجات حرارة مرتفعة ومنخفضة، وفولتية عالية، وإعدادات منخفضة التسرب. تتميز هذه الأنظمة بسهولة الاستخدام واستقرار فائق في الأداء، كما تتمتع بدقة عالية وكفاءة مذهلة واهتزازات ضئيلة ومستويات ضوضاء منخفضة.
Category:
محطة مجسات آلية بالكامل
- الوصف
- المعلمات
- تنزيل
- فيديو
-
الميزات والفوائد
مصمم خصيصًا للتطبيقات على رقائق متنوعة
- يمكن أن تصل الدقة إلى ±1 ميكرون، بفضل نظام تحكم في الحركة مغلق بالكامل يوفر دقة عالية وكفاءة استثنائية وأداءً قويًا في التحديد الموضعي.
- يمكن أن يكون وقت الفهرسة منخفضًا حتى 240 مللي ثانية، ويتميز بقاعدة رخامية وهيكل شديد الصلابة لتوفير قدرة تحمل عالية، واهتزازات ضئيلة، وحركة استقرار سريعة.
- قوة رفع قصوى تبلغ 750 كجم·قوة، مع دعم متكامل من الزوايا الأربع على المحور Z، مما يضمن حدًا أدنى من التشوه حتى في ظل الأحمال العالية أو ظروف التحميل غير المتمركز.
- نطاق درجة حرارة الاختبار: من -40 إلى 200 درجة مئوية. قمنا بتطوير أنواع مختلفة من الأحزمة (CHUCKs) بشكل مستقل لمواجهة التحديات الحرجة في العمليات وتحقيق تحكم دقيق في درجة الحرارة.
-
C300 H300 T300 M300 المناسبات المطبقة النموذج القياسي النموذج القياسي مناسب لثلاث درجات حرارة مناسب للتخزين حجم الرقاقة القابل للتطبيق 12 بوصة / 8 بوصات سمك الرقاقة القابل للتطبيق 200–2,200 ميكرومتر 200–2,200 ميكرومتر 200–2,200 ميكرومتر 200–2,200 ميكرومتر الدقة الإجمالية محور XY: ±1 ميكرومتر
محور ZF: ±2 ميكرومترمحور XY: ±1 ميكرومتر
محور ZF: ±2 ميكرومترمحور XY: ±1 ميكرومتر
محور ZF: ±2 ميكرومترمحور XY: ±1 ميكرومتر
محور ZF: ±2 ميكرومتروقت الفهرسة 240ms 240ms 240ms 240ms (س/ص: 10 مم، (س/ص: 10 مم، (س/ص: 10 مم، (س/ص: 10 مم، ز: 0.5 مم) ز: 0.5 مم) ز: 0.5 مم) ز: 0.5 مم) قياس الضغط باستخدام الإبرة 250kgf 250kgf 250kgf 250kgf درجة حرارة الاختبار درجة حرارة الغرفة درجة حرارة الغرفة ~ 150°مئوية -55 إلى 200 درجة مئوية درجة حرارة الغرفة ~ 150°مئوية طريقة توصيل آلة الاختبار كابل، رسو صلب كابل، صلب كابل، صلب مفصل،
التصويب التلقائيالالتحام المباشر الإرساء، المباشر
الإرساءالإرساء، المباشر
الإرساءواجهة الاتصال جي بي آي بي، آر إس232 جي بي آي بي، آر إس232 جي بي آي بي، آر إس232 جي بي آي بي، آر إس232 أبعاد المعدات 1680مم (عرض) × 1890مم، 1680مم (عرض) × 1890مم، 1680مم (عرض) × 2080مم، 2000مم (عرض) × 1890مم م(د) * 1490 مم (ع) مم(د) * 14 م(د) * 1490 مم (ع) مم(د) * 14 90 مم (ع) 90 مم (ع) وزن المعدات 2000kg 2000kg 2000kg 2200kg متطلبات الطاقة 220 فولت تيار متردد 1.0 كيلو فولت أمبير 220VAC2.0KVA 220VAC5.7KVA 220VAC2.0KVA ضغط الهواء المضغوط ≥0.6 ميجا باسكال ≥0.6 ميجا باسكال ≥0.6 ميجا باسكال ≥0.6 ميجا باسكال ضغط الفراغ ≤ -60 كيلوباسكال ≤ -60 كيلوباسكال ≤ -60 كيلوباسكال ≤ -60 كيلوباسكال ※ يدعم أصابع بيرنولي، ويلبي متطلبات الألواح الرقيقة ※ دعم تخصيص درجة الحرارة — -60°C ※ يدعم الاستبدال التلقائي للبطاقات (APC) ※ يدعم التثبيت الاختياري لوحدات تصفية الهواء المدمجة (FFUs) لتلبية متطلبات النقاء العالية C200 H200 T200 T200HV المناسبات المطبقة النموذج القياسي النموذج القياسي مناسب لثلاث درجات حرارة مناسب للجيل 3.5 حجم الرقاقة القابل للتطبيق 8 بوصة / 6 بوصات / 5 بوصات / 4 بوصات سمك الرقاقة القابل للتطبيق 200–2,200 ميكرومتر 200–2,200 ميكرومتر 200–2,200 ميكرومتر 200–2,200 ميكرومتر الدقة الإجمالية محور XY: ±1 ميكرومتر
محور ZF: ±2 ميكرومترمحور XY: ±1 ميكرومتر
محور ZF: ±2 ميكرومترمحور XY: ±1 ميكرومتر
محور ZF: ±2 ميكرومترمحور XY: ±1 ميكرومتر
محور ZF: ±2 ميكرومتروقت الفهرسة 250 مللي ثانية (X/Y: 10 مم،
ز: 0.5 مم)250 مللي ثانية (X/Y: 10 مم، Z)
ز: 0.5 مم)50 مللي ثانية (X/Y: 10 مم، Z
0.5 مم)50 مللي ثانية (XY: 10 مم،
ز: 0.5 مم)قياس الضغط باستخدام الإبرة 150kgf 150kgf 150kgf 150kgf درجة حرارة الاختبار درجة حرارة الغرفة درجة حرارة الغرفة ~ 150°مئوية -55 إلى 200 درجة مئوية -40 إلى 150 درجة مئوية طريقة توصيل آلة الاختبار كابل، رسو صلب كابل، رسو صلب كابل، رسو صلب كابل، رسو صلب واجهة الاتصال جي بي آي بي، آر إس232 جي بي آي بي، آر إس232 جي بي آي بي، آر إس232 جي بي آي بي، آر إس232 أبعاد المعدات 1300 مم (عرض) × 1542 مم، 1300 مم (عرض) × 1542 مم، 1300 مم (عرض) × 1740 مم، 1300 مم (عرض) × 1740 مم م(د) × 960 ملم (ع) مم (عرض) × 960 مم (ارتفاع) م(د) × 960 ملم (ع) مم (عرض) × 960 مم (ارتفاع) وزن المعدات 1200kg 1200kg 1200kg 1200kg متطلبات الطاقة 220 فولت تيار متردد 1.0 كيلو فولت أمبير 220VAC2.0KVA 220 فولت تيار متردد 5.7 كيلو فولت أمبير 220VAC5.7KVA ضغط الهواء المضغوط ≥0.6 ميجا باسكال ≥0.6 ميجا باسكال ≥0.6 ميجا باسكال ≥0.6 ميجا باسكال ضغط الفراغ ≤ -60 كيلوباسكال ≤ -60 كيلوباسكال ≤ -60 كيلوباسكال ≤ -60 كيلوباسكال ※ يدعم أصابع بيرنولي، ويلبي متطلبات الألواح الرقيقة ※ دعم تخصيص درجة الحرارة — حتى -60°C ※ يدعم التغيير التلقائي للملف الشخصي (APC) ※ يدعم ترقية FFU، مُحمّل بالكامل متطلبات نظافة عالية للقدمين
全自动晶圆探针台